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1200℃預加熱滑動(dòng)雙溫區PECVD系統
更新時(shí)間： 2025-02-27
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產(chǎn)品報價(jià)：
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。
詳細資料：
產(chǎn)品應用：二
PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。
產(chǎn)品組成：
PECVD系統配置：
1.1200度開(kāi)啟式雙溫區真空管式爐
2.滑動(dòng)系統分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng)，并配置管內測溫系統。
3.預加熱開(kāi)啟式管式電爐
4.等離子射頻電源
5.多路質(zhì)量流量控制系統
6.真空系統（可選配中真空或高真空）
產(chǎn)品特點(diǎn)：
生長(cháng)溫度低；沉積速率快；成膜質(zhì)量好，適用范圍廣，設備簡(jiǎn)單。
天津中環(huán)電爐股份有限公司 地址：天津市北辰區北辰科技園區雙川道11號
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