真空快速退火爐采用了成儀自主研發(fā)的智能AIO控制系統，實(shí)現了爐膛自動(dòng)左右移動(dòng)，爐膛在左側加熱到設定溫度后，直接移動(dòng)到右側樣品區域，實(shí)現樣品快速升溫，樣品加熱到設定溫度和時(shí)間后，爐膛自動(dòng)移開(kāi)樣品加熱區，實(shí)現樣品的快速降溫。成儀AIO智能控制系統不但實(shí)現了真空系統開(kāi)啟、保護氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動(dòng)協(xié)調控制，而且還能自動(dòng)平衡爐管內的壓力大小，真正實(shí)現了操作方便，而且安全可靠。

 

　　真空快速退火爐主要適用于不銹鋼拉深件如水暖器材、水脹件、銷(xiāo)、醫療器械、不銹鋼釘、不銹鋼鏍絲、壓鉚件、不銹鋼軸承、表殼、表帶、刀具、微型軸、自攻自鉆、餐具等不銹鋼制品在保護氣氛控制下進(jìn)行連續光亮退火、固溶、退磁及不銹鋼淬火處理的多用爐。處理后產(chǎn)品表面光潔、不氧化、不脫碳。具有生產(chǎn)效率高、能耗低、污染少、操作使用方便，勞動(dòng)強度低等優(yōu)點(diǎn)。

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　1、 紅外鹵素燈管加熱，冷卻采用風(fēng)冷；

　　2、加熱由功率控制而非電壓控制，避免了由于燈絲老化電阻改變導致的后續使用中加熱不均的問(wèn)題，了良好的重現性及均溫性，即使在后續使用過(guò)程中更換了部分新的燈管也可以達到初的熱處理效果；

　　3、石英腔體，腔體冷卻采用水冷，冷壁設計，雙層不銹鋼；

　　4、反應腔室的設計，氣體的進(jìn)入口設計在wafer的表面，避免在退火過(guò)程中冷點(diǎn)的產(chǎn)生。很好的了樣品在加熱過(guò)程中的均溫性；

　　5、快速數字PID控溫；

　　6、熱電偶設計上采用中間和邊緣安裝模式，測試的樣品的溫度，控溫；

　　7、大氣和真空工藝均適合，凈化氣體配針閥；

　　8、多3工藝氣體，配數字質(zhì)量流量控制器；

　　9、電腦通過(guò)以太網(wǎng)連接更快的數據傳輸速度；

　　10、可選配石墨托盤(pán)表面涂SiC薄膜設計，用于小樣品測試；

　　11、可選配分子泵，用于高真空測試；

　　12、可選配雙腔體設計, 達到高潔凈工藝，避免交叉污染。